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荷兰TE 半导体应用实例 | 电镀液中总有机碳TOC含量的测定

2025-07-14

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电镀液中测试总有机碳TOC含量主要为了监控有机污染物残留,确保工艺质量和产品性能。因为电镀液中的有机污染物(如添加剂分解产物、金属离子等)会导致镀层质量下降,出现夹杂、偏脆等问题,直接影响金刚线切割效率和硅片质量。通过检测TOC含量,可快速判断有机物残留是否超标,及时调整处理工艺。


电镀液通常含有较高浓度的盐类(如氯离子),这些成分在高温氧化过程中可能腐蚀仪器部件(如燃烧管内壁附着盐分),另外氯离子(Cl⁻)对氧化反应有抑制作用,会影响有机碳向二氧化碳的转化效率,进而影响TOC检测结果的准确性。 ‌


荷兰TE公司——Xpert TOC总有机碳分析仪的专利耐高盐设计,可以在得到准备的测试结果的同时避免高盐对系统的损害。

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检测要求

电镀液中的TOC含量

样品类型

电镀液-来自于某客户实际样品,样品中含有硫酸铜,盐酸,硫酸等酸类。

检测条件

仪器型号:荷兰TE XPERT-TOC总有机碳分析仪

炉温:720℃

测试模式:TOC=TC-IC

进样体积:100μL(TC) 500μL(IC)

氧气流速:200mL/min

标准曲线:R2>0.999

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(点击查看大图)

检测结果

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结论:

每个样品测试3次重复,结果重现性良好,在高本底盐度和酸度的电镀液样品即使浓度超过1000ppm的样品也无需稀释直接进样,充分证实了荷兰TE这款XPERT-TOC总有机碳分析仪的性能和可靠的质量。


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🔥 XPERT-TOC/TNb ——集成了仪器坚固耐用性,分析准确性和操作便捷性于一体的最新一代总有机碳分析仪。


实验室选择 XPERT-TOC/TNb的原因:

💡 高温催化燃烧法的原理设计,一次进样几分钟内既可得到总有机碳TOC及总化合氮TNb

💡 采用TEIS分析控制软件实现仪器的全自动化操作,符合所有目前现行的高温燃烧法的所有官方标准和方法。

💡 XPERT可以一次进样得到TOC/TNb总有机碳及总化合氮结果,也可以分别得到单个的TOC总有机碳及TNb总化合氮结果。

💡 符合各种国际及国内标准,符合各种高温催化燃烧测试标准,例如:

·HJ 501-2009,HJ 695-2014;

·ASTM D7573,ASTM D8083;

·EN-1484;

·EPA 415.1,EPA 9060;

·ISO 8245,ISO 11905-2;

·USP<643>

等各种国内国际标准。


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